可行性研究审计程序一般包括制订评审计划、收集资料与调查研究、评审查证和形成评审意见或报告这四个步骤。
制定评审计划时，应决定参与评审工作的人员、目的、程度、内容、方法和时间安排。
在收集资料、调查研究阶段，应确定需要收集哪些资料，并对收集到的资料进行汇总分类、加工整理，编制各种计算和分析表。
评审查证是对可行性研究审计的内容进行全面的审查评价，包括市场、厂址、技术、设备、原料来源、基本建设、资金来源和投资效果等。
形成的评审意见或报告对项目设立的必要性、建设条件、技术经济的可行性表示肯定、怀疑或否定的意见。
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