注册会计师财务审计的审计程序具体包括以下几个阶段：
1、计划阶段，包括初步评价被审计单位的内部控制系统、分析审计风险和编制审计计划。
2、实施阶段，包括进驻被审计单位、进一步检查和评价内部控制系统（包括风险评估、控制测试和实质性程序）、审查会计报表及其所反映的经济活动和收集审计证据。其中，风险评估是必要程序，实质性程序在每次会计报表审计中都必须执行。
3、完成阶段，包括全面评估错报风险，整理、评价审计证据，复核审计工作底稿，归纳总结形成审计结论，最后出具审计报告。
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